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Übersetzung - Deutsch Das Verfahren nach Anspruch 1 zum Zusammenfügen von zwei ein Innenloch aufweisenden Substraten ist zu allgemein und zu breit gefaßt, jeder Schritt sollte eindeutig auf die konkreten Funktionsbedingungen begrenzt sein, außerdem steht das beantragte Verfahren praktisch im Einklang mit der Funktionsmethode der beantragten Vorrichtung, so daß die Bauteile bei ihrer Erwähnung zur besseren Klarheit mit Kennummern in Bezug auf die Abbildungen zu versehen sind.
Außerdem sollten die relevante Punkte in den Ansprüche 2 bis 7 in den Anspruch 1 übergenommen werden, um eine klare Kennzeichnung zu gewähren.
Ohne die erwähnte Begrenzungen ist dieser Anspruch zu allgemein und zu weit gefaßt, ohne die klare technische Kennzeichnungen bekannt gegeben zu haben, sowie ohne vernünftige Unterstützung durch die Beschreibungen und durch die Abbildungen von dem vorliegenden Antrag, er entspricht nicht den Vorschriften in den Patentrechten.
Dieser Antrag begrenzt in der derzeitigen Form weder die konkreten Funktionsbedingungen, noch kennzeichnet er die Technik, ebensowenig kann er sich von dem im ersten Instanz zitierten Stand der Technik effektiv differenzieren.
Die Ansprüche 2 bis 7 sind abhängig von dem Anspruch 1, so daß sie aus den gleichen Gründen auch entsprechend zu korrigieren sind.
(4) Vorrichtung nach Anspruch 8 ist zu allgemein gefaßt; es sollte auf die konkreten konstruktiven Kennzeichnungen der Bauteile und deren gegenseitige Beziehungen von der beanspruchten Vorrichtung begrenzen.
Außerdem sollten die relevante Punkte in den Ansprüche 9 bis 14 in das Anspruch 8 übergenommen werden, um eine klare Kennzeichnung zu gewähren.
Ohne die erwähnte Begrenzungen ist dieser Anspruch zu allgemein und zu weit gefaßt, ohne die klare technische Kennzeichnungen bekannt gegeben zu haben, sowie ohne vernünftige Unterstützung durch die Beschreibungen und durch die Abbildungen von dem vorliegenden Antrag, er entspricht nicht den Vorschriften in den Patentrechten.
Die Ansprüche 9 bis 14 sind abhängig von dem Anspruch 8, so daß sie aus den gleichen Gründen auch entsprechend zu korrigieren sind.
Deutsch > Chinesisch: Source in German, Target 1 in traditional Chinese and Target 2 in simplified Chinese Detailed field: Patente
Ausgangstext - Deutsch
Patentansprüche
1. Verfahren zum Beschichten von Substraten, bei dem das Substrat durch eine Magnetron-Zerstäubungsprozess mit einem zu zerstäubenden Target und einem rotierenden Magnetsystem beschichtet wird, dadurch gekennzeichnet, dass ein Zerstäubungszustand des Targets ermittelt wird, und die Rotationsgeschwindigkeit des Magnetsystems in Abhängigkeit von dem ermittelten Zerstäubungszustand des Targets gesteuert wird.
2. Verfahren nach Ansprüch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Zerstäubungszustand des Targets anhand der verbleibenden Restlebenszeit ermittelt wird.
3. Verfahren nach Ansprüch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Zerstäubungszustand des Targets anhand der Anzahl von durchgeführten Zerstäubungsvorgängen ermittelt wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationsgeschwindigkeit des Magnetsystems mit zunehmender Zerstäubung des Targets verringert wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein optisches Speichermedium mit einer Reflexionsschicht beschichtet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflexionsschicht aus einer Aluminium- oder Silberschicht oder Legierungen davon gebildet wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationsgeschwindigkeit des Magnetsystems auch in Abhängigkeit vom verwendeten Targetmaterial gewählt wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass anhand einer Energieaufnahme eines Motors festgestellt wird, ob sich ein Target in der Zerstäubungsvorrichtung befindet und/oder ob sich das Magnetsystem ordnungsgemäß dreht.
9. Vorrichtung zum Beschichten von Substraten, die eine Zerstäubungskathode mit einem Target und einem rotierenden Magnetsystem aufweist, dadurch gekennzeiehnet, dass Mittel zum Ermitteln eines Zerstäubungszustandes des Targets sowie zum Steuern einer Rotationsgeschwindigkeit des Magnetsystems in Abhängigkeit vom ermittelten Zerstäubungszustand vorgesehen ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnetsystem folgendes aufweist, eine Jochplatte (50) und wenigstens eine erste Gruppe (70) und einer zweiten Gruppe (71) von Magneten, die mit entgegengesetzter Polung auf der Jochplatte (50) angeordnet sind, wobei die Magnete der ersten Gruppe (70) eine im Wesentlichen geschlossene innenliegende Magnetreihe bilden und die Magnete der zweiten Gruppe (71) eine im Wesentlichen geschlossene außenliegende Magnetreihe bilden, die die innenliegende Magnetreihe radial umgibt, wobei die innenliegende Magnetreihe einen ersten Kreisbogen (75) bildet, der einen Winkel von größer 180° eines ersten Kreises (A) beschreibt, sowie einen zweiten Kreisbogen (76) eines zweiten Kreises (C), wobei der zweite Kreisbogen (76) innerhalb des ersten Kreises (A) liegt und wobei die außenliegende Magnetreihe einen dritten Kreisbogen (78) bildet, der einen Winkel von größer 180° eines dritten Kreises (E) beschreibt, sowie einen vierten Kreisbogen (80) eines vierten Kreises (F), wobei der vierte Kreisbogen (80) innerhalb des dritten Kreises (E) liegt, und der dritte Kreis (E) den ersten Kreis (A) umgibt.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und dritten Kreise (A, E) einen gemeinsamen Mittelpunkt B aufweisen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Kreisbogen (75) einen Winkel zwischen 220° und 250°, und vorzugsweise von ungefähr 235° beschreibt.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Kreisbogen (76) einen Winkel zwischen 90° und 120°, und vorzugsweise von ungefähr 103° beschreibt.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Kreise (A, C) der innenliegenden Magnetreihe im Wesentlichen den gleichen Radius aufweisen.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Kreisbogen (78) einen Winkel zwischen 225° und 255°, und vorzugsweise von ungefähr 239° beschreibt.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der vierte Kreisbogen (80) einen Winkel zwischen 95° und 125°, und vorzugsweise von ungefähr 111° beschreibt.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Radius des dritten Kreise (E) größer ist als der Radius des vierten Kreises (F).
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, das der Radius des dritten Kreises (E) um 80% bis 100%, vorzugsweise um ungefähr 90% größer ist als der Radius des vierten Kreises (F).
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die außenliegende Magnetreihe zwei gerade Segmente (79) aufweist, die die freien Enden der dritten und vierten Kreisbogen (78, 80) verbinden.
20. is 19, gekennzeichnet durch eine dritte Gruppe (72) von Magneten, die auf der Jochplatte (50) angeordnet ist, eine dem vierten Kreisbogen (80) gegenüberliegende nicht geschlossene Magnetreihe bildet und außerhalb der ersten und zweiten geschlossenen Magnetreihen liegt.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Gruppe (72) von Magneten in der gleichen Richtung gepolt ist, wie die zweite Gruppe (71) von Magneten.
22. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Gruppe (72) von Magneten einen fünften Kreisbogen (81) eines fünften Kreises (H) mit einem Winkel von 15° bis 45° und insbesondere von ungefähr 32° beschreibt.
23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass der fünfte Kreis (H) einen größeren Radius besitzt als der dritte Kreis (E).
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Gruppe (72) von Magneten innerhalb des vierten Kreises (F) liegt.
25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittelpunkte der Kreise auf einer gemeinsamen Geraden liegen.
26. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetreihen zu der Geraden spiegelsymmetrisch sind.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass die Jochplatte (50) eben ist, und um einen Mittelpunkt (X) rotationssymmetrisch ist.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass ein Mittelpunkt (X) der Jochplatte und die Mittelpunkte (B, D, G) der Kreise (A, C, E, F, H) auf einer gemeinsamen Geraden (Y) liegen.
29. Vorrichtung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass der gemeinsame Mittelpunkt (B) des ersten und dritten Kreises (A, E) entlang der Geraden (Y) zum Mittelpunkt (X) der Jochplatte versetzt ist.
30. Vorrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittelpunkte (D, G) des zweiten und vierten Kreises (C, F) entlang der Geraden (Y) zum Mittelpunkt der Jochplatte versetzt sind und bezüglich des Mittelpunkts (X) der Jochplatte auf einer anderen Seite liegen, wie der gemeinsame Mittelpunkt (B) des ersten und dritten Kreises (A, E).
31. Vorrichtung nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, dass der gemeinsame Mittelpunkt (B) des ersten und dritten Kreises (A, E) mit einem Abstand zum Mittelpunkt (X) der Jochplatte angeordnet ist, der kleiner ist als ein Abstand zwischen dem Mittelpunkt (X) der Jochplatte und dem Mittelpunkt (D) des zweiten Kreises (C), und dass der Mittelpunkt (G) des vierten Kreises (F) mit einem größren Abstand zum Mittelpunkt (X) der Jochplatte (50) angeordnet ist, als der Mittelpunkt (D) des Kreises (C).
32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 31, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnete (54) durch wenigstens eine nichtmagnetische Platte (52) mit entsprechenden Durchführöffnungen für die Magnete (54) geführt sind.
33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 32, gekennzeichnet durch unmagnetische Ausgleichsgewichte (56) an der Jochplatte (50) zum Ausgleichen des Gewichts des Magnetsystems (7) derart, dass deren Schwerpunkt auf einer sich durch einen Mittelpunkt (X) der Jochplatte (50) erstreckenden Normalen liegt.
Chinesisch > Deutsch (Dr Agr & Dipl Agr Eng of Giessen Univ., Germany) Chinesisch > Englisch ( 5 yrs' P-Eng career in Ontario and BC., Canada) Deutsch > Chinesisch (5 yrs worked on Automation Technology in TU Munich)
Mitgliedschaften
Chinese Society of Engineers, Member of APAA (Asian Patent Attorneys Association)
Software
Adobe Acrobat, Adobe Photoshop, Dreamweaver, Frontpage, Indesign, Microsoft Office Pro, STAR Transit, Trados Studio
*worked for five years as Professional Engineer in Ontario and British Columbia, Canada;
*taught Electronics, Mechatronics, Computer Science and Automation Engineering, etc., as professor at two national universities;
*worked for a long list of German, Swiss and French companies as freelancer and as Patent and Trademarks Attorney;
*acquired Diplom Agr and Doktor Agr degrees and worked 10 years on Automation technology in Germany;
*been able to offer highest quality of work through sound intellectual background and diversified work experience.
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*patent/trademark related documents; or
*any other small or large technical documents,
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As a Patent Attorney in Taiwan, I can prosecute your Patent and Trademark filings, etc. in Taiwan.
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